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文献
J-GLOBAL ID：200902159816101230
整理番号：98A0876595
ナノリソグラフィーのための炭素ナノチューブの利用
Exploiting the properties of carbon nanotubes for nanolithography.
DAI H
(Stanford Univ., California)
,
FRANKLIN N
(Stanford Univ., California)
,
HAN J
(NASA Ames Res. Center, California)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 73 号： 11 ページ： 1508-1510 発行年： 1998年09月14日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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