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文献
J-GLOBAL ID：200902159835124941
整理番号：93A0705378
ガス・ケミカルイオンのウエハへの影響評価と汚染対策 (その6) 金属繊維フィルタの除去性能の解析
Contamination of Wafer by Gases and Chemical Ions and its Control Method. (No.6). Analysis of Removal Performance of Metal Fiber Filter for Gases and Mists.
大北正信
(清水建設 技研)
,
鈴木良延
(清水建設 技研)
,
梶間智明
(清水建設 技研)
,
西当修作
(清水建設 技研)
資料名：
空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集
(空気清浄とコンタミネーションコントロール研究に関する技術研究大会予稿集)
巻： 12th ページ： 285-288 発行年： 1993年04月
JST資料番号： Y0789A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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