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文献
J-GLOBAL ID：200902159838498982
整理番号：98A0684788
SiC型を用いるAl基板上の直接ナノ印刷
Direct nano-printing on Al substrate using a SiC mold.
PANG S W
(NTT Opto-electronics Lab., Atsugi, JPN)
,
TAMAMURA T
(NTT Opto-electronics Lab., Atsugi, JPN)
,
NAKAO M
(NTT Opto-electronics Lab., Atsugi, JPN)
,
OZAWA A
(NTT Advanced Technol. Corp., Atsugi, JPN)
,
MASUDA H
(Tokyo Metropolitan Univ., Tokyo, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 16 号： 3 ページ： 1145-1149 発行年： 1998年05月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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