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文献
J-GLOBAL ID：200902159880251717
整理番号：98A0861043
材料-波動ナノ技術 de Broglie波を用いたナノ作製
Material-wave nanotechnology: Nanofabrication using a de Broglie wave.
MATSUI S
(NEC Corp., Tsukuba, JPN)
,
FUJITA J
(NEC Corp., Tsukuba, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 16 号： 4 ページ： 2439-2443 発行年： 1998年07月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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