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文献
J-GLOBAL ID：200902160034294428
整理番号：96A0216917
表面を微細加工した静電超音波空中トランスジューサ
A Surface Micromachined Electrostatic Ultrasonic Air Transducer.
HALLER M I
(Stanford Univ., CA, USA)
,
KHURI-YAKUB B T
(Stanford Univ., CA, USA)
資料名：
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻： 43 号： 1 ページ： 1-6 発行年： 1996年01月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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