文献
J-GLOBAL ID:200902160059019456
整理番号:93A0883852
表面電荷スペクトロスコピー 半導体の表面状態分布測定技術に対する新しい表面科学技術
Surface Charge Spectroscopy - A Novel Surface Science Technique for Measuring Surface State Distributions on Semiconductors.
著者 (4件):
KWOK R W M
(Univ. Western Ontario, Ontario, CAN)
,
LANDHEER D
(National Research Council of Canada, Ontario, CAN)
,
INGREY S
(Bell-Northern Research, Ontario, CAN)
,
LAU W M
(Univ. Western Ontario, Ontario, CAN)
資料名:
Journal of Electronic Materials
(Journal of Electronic Materials)
巻:
22
号:
9
ページ:
1141-1146
発行年:
1993年09月
JST資料番号:
D0277B
ISSN:
0361-5235
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)