文献
J-GLOBAL ID:200902160309081756
整理番号:97A0823449
非対称高周波プラズマの電子エネルギー分布の自己補償Langmuirプローブを用いた測定
Measurement of the Electron Energy Distribution in Asymmetric Radio-Frequency Plasmas with a Self-Compensating Langmuir Probe.
著者 (3件):
KUBO T
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
KAWATA H
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
MURATA K
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
36
号:
7B
ページ:
4601-4604
発行年:
1997年07月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)