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文献
J-GLOBAL ID：200902160522507597
整理番号：93A0697131
イオンビームアシスト成長により得られるβ-FeSi2の表面形態とエピタクシー
Surface morphology and epitaxy of β-FeSi2 obtained by ion beam assisted growth.
RAVESI S
(Univ. Catania, Catania, ITA)
,
TERRASI A
(Co.Ri.M.Me, Catania, ITA)
,
LA MANTIA A
(SGS-Thomson Microelectronics, Catania, ITA)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 80/81 号： Pt 2 ページ： 1371-1375 発行年： 1993年06月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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