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文献
J-GLOBAL ID：200902160566626585
整理番号：00A0692920
酸増感単位を側鎖に有する新規重合体の合成とフォトレジスト材料への適用
Synthesis of a Novel Polymer with Acid Amplifier Unit in the Side Chain and Application for Photoresist Materials.
PARK S-W
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
ARIMITSU K
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
LEE S
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
ICHIMURA K
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名：
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 13 号： 2 ページ： 217-220 発行年： 2000年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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