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文献
J-GLOBAL ID：200902160584452934
整理番号：93A0314430
Pt/TiおよびPt/Ti/TiN界面反応への焼鈍環境およびPtの厚さの効果
Effects of anneal ambients and Pt thickness on Pt/Ti and Pt/Ti/TiN interfacial reactions.
OLOWOLAFE J O
(Advanced Products Research and Development Lab., Motorola, Texas)
,
JONES R E JR
(Advanced Products Research and Development Lab., Motorola, Texas)
,
CAMPBELL A C
(Advanced Products Research and Development Lab., Motorola, Texas)
,
HEGDE R I
(Advanced Products Research and Development Lab., Motorola, Texas)
,
MOGAB C J
(Advanced Products Research and Development Lab., Motorola, Texas)
,
GREGORY R B
(Advanced Custom Technology, Arizona)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 73 号： 4 ページ： 1764-1772 発行年： 1993年02月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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