文献
J-GLOBAL ID:200902160783700831
整理番号:93A0582868
イオンビーム支援,プラズマ支援膜成長の模型化と計算機シミュレーション
Modelling and computer simulation of ion-beam- and plasma-assisted film growth.
著者 (1件):
MOELLER W
(Max-Planck-Inst. Plasmaphysik, Garching, DEU)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
228
号:
1/2
ページ:
319-325
発行年:
1993年05月15日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)