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文献
J-GLOBAL ID：200902160929020773
整理番号：00A0243134
イオントラックリソグラフィーによるXカット小型同調フォークの実現
X-Cut Miniature Tuning Forks Realized by Ion Track Lithography.
THORNELL G
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
RAPP H
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
HJORT K
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
資料名：
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻： 47 号： 1 ページ： 8-15 発行年： 2000年01月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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