文献
J-GLOBAL ID:200902160966598386
整理番号:93A0597511
rfプレーナマグネトロンスパッタによるKTaxNb1-xO3薄膜の合成と評価
Synthesis and characterization of rf-planar magnetron sputtered KTaxNb1-xO3 thin films.
著者 (3件):
SASHITAL S R
(TRW, California)
,
KRISHNAKUMAR S
(Univ. California, San Diego, California)
,
ESENER S
(Univ. California, San Diego, California)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
62
号:
23
ページ:
2917-2919
発行年:
1993年06月07日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)