文献
J-GLOBAL ID:200902160991758665
整理番号:93A0775730
Modeling of Si3N4 thin layers deposition out of gaseous phase.
著者 (3件):
KOSTENKO S P
(Research-and-Production Centre, Odessa, SUN)
,
POTCHKIN YU A
(Research-and-Production Centre, Odessa, SUN)
,
TISHCHENKO G D
(Research-and-Production Centre, Odessa, SUN)
資料名:
Materials Science Forum
(Materials Science Forum)
巻:
126/128
ページ:
829-832
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0716B
ISSN:
0255-5476
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)