文献
J-GLOBAL ID:200902161189212696
整理番号:95A0110449
AlGaAs/GaAs micromachining for monolithic integration of optical and mechanical components.
著者 (3件):
UENISHI Y
(NTT Interdisciplinary Research Lab., Tokyo, JPN)
,
TANAKA H
(NTT Interdisciplinary Research Lab., Tokyo, JPN)
,
UKITA H
(NTT Interdisciplinary Research Lab., Tokyo, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
2291
ページ:
82-91
発行年:
1994年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)