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文献
J-GLOBAL ID：200902161268060842
整理番号：93A0910052
InP上の酸化物の成長と電気的性質に及ぼすプラズマ処理条件の影響
Influence of plasma treatment conditions on growth and electrical properties of oxides on InP.
BOUZIANE A
(Univ. Nancy I, Vandoeuvre l<span style=text-decoration:overline>e`</span>s Nancy, FRA)
,
REMY M
(Univ. Nancy I, Vandoeuvre l<span style=text-decoration:overline>e`</span>s Nancy, FRA)
,
OUENNOUGHI Z
(Univ. Nancy I, Vandoeuvre l<span style=text-decoration:overline>e`</span>s Nancy, FRA)
,
SIMON C
(Univ. Nancy I, Vandoeuvre l<span style=text-decoration:overline>e`</span>s Nancy, FRA)
,
ALNOT M
(Lab. Maurice Letort, CNRS, Villers l<span style=text-decoration:overline>e`</span>s Nancy, FRA)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 59 号： 1/3 ページ： 121-125 発行年： 1993年10月01日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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