文献
J-GLOBAL ID:200902161309778737
整理番号:93A0915330
TiNx亜当量CVD被覆の透過型電子顕微鏡による解析
Transmission electron microscopy analysis of a TiNx substoichiometric CVD coating.
著者 (2件):
DEREP J L
(E.T.C.A. Centre de Recherches et d’Etudes d’Arcueil, Arcueil, FRA)
,
BEAUPREZ E
(E.T.C.A. Centre de Recherches et d’Etudes d’Arcueil, Arcueil, FRA)
資料名:
Journal of Materials Science
(Journal of Materials Science)
巻:
28
号:
18
ページ:
4957-4961
発行年:
1993年09月15日
JST資料番号:
B0722A
ISSN:
0022-2461
CODEN:
JMTSAS
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)