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J-GLOBAL ID：200902161391598075 整理番号：00A0692886

プラズマ重合によるDLC薄膜の調製とその誘電特性

Preparation of DLC Thin Films by Plasma Polymerization and Their Dielectric Properties.

著者 (3件)：

IRIYAMA Y

(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)

HASEGAWA Y

(Kinki Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)

IHARA T

(Kinki Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)

資料名：

Journal of Photopolymer Science and Technology (Journal of Photopolymer Science and Technology)

巻： 13 号： 1 ページ： 39-46 発行年： 2000年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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