文献
J-GLOBAL ID:200902161460105884
整理番号:96A0576125
パルスd.c.グロー放電CVDによるダイヤモンド圧膜の蒸着
Deposition of thick diamond films by pulsed d.c. glow discharge CVD.
著者 (3件):
HARTMANN P
(Univ. Technol. Vienna, Vienna, AUT)
,
HAUBNER R
(Univ. Technol. Vienna, Vienna, AUT)
,
LUX B
(Univ. Technol. Vienna, Vienna, AUT)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
5
号:
6/8
ページ:
850-856
発行年:
1996年05月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)