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J-GLOBAL ID：200902161717908452 整理番号：96A0673736

真空チェンバー中での水蒸気の吸着カイネティクスへの表面処理効果

Effect of surface treatment on the adsorption kinetics of water vapor in a vacuum chamber.

著者 (4件)：

TUZI Y

(ULVAC Corp., Kanagawa, JPN)

TANAKA T

(ULVAC Corp., Kanagawa, JPN)

TAKEUCHI K

(ULVAC Corp., Kanagawa, JPN)

SAITO Y

(KEK-National Lab. High Energy Physics, Ibaraki, JPN)

資料名：

Vacuum (Vacuum)

巻： 47 号： 6/8 ページ： 705-708 発行年： 1996年06月
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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