文献
J-GLOBAL ID:200902161779660406
整理番号:94A0131748
Model Studies of Chemical Vapor Deposition.
著者 (3件):
COLTRIN M E
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
BREILAND W G
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
HO P
(Sandia National Lab., New Mexico)
資料名:
Materials Technology
(Materials Technology)
巻:
8
号:
11/12
ページ:
250-253
発行年:
1993年11月
JST資料番号:
E0072B
ISSN:
1066-7857
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)