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文献
J-GLOBAL ID：200902161860957138
整理番号：01A0124132
材料プロセスプラズマ及びガスの粒子モデル化のための電子・分子,イオン・分子,分子・分子及びCoulomb衝突の確率理論
Probability Theory of Electron-Molecule, Ion-Molecule, Molecule-Molecule, and Coulomb Collisions for Particle Modeling of Materials Processing Plasmas and Gases.
NANBU K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
IEEE Transactions on Plasma Science
(IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 28 号： 3 ページ： 971-990 発行年： 2000年06月
JST資料番号： D0036B ISSN： 0093-3813 CODEN： ITPSBD 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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