文献
J-GLOBAL ID:200902161884441833
整理番号:93A0694289
酸化けい素薄膜の歪んだシロキサン結合の最初の観測
First Observation of Strained Siloxane Bonds on Silicon Oxide Thin Films.
著者 (3件):
CHIANG C-M
(AT & T Bell Lab., New Jersey)
,
ZEGARSKI B R
(AT & T Bell Lab., New Jersey)
,
DUBOIS L H
(AT & T Bell Lab., New Jersey)
資料名:
Journal of Physical Chemistry
(Journal of Physical Chemistry)
巻:
97
号:
27
ページ:
6948-6950
発行年:
1993年07月08日
JST資料番号:
C0334A
ISSN:
0022-3654
CODEN:
JPCHAX
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)