文献
J-GLOBAL ID:200902161902356288
整理番号:93A0732360
A moveable shielding box adaptable to commercial automatic wafer probers.
著者 (5件):
LOZANO M
(Univ. Autonoma de Barcelona, Barcelona, ESP)
,
CANE C
(Univ. Autonoma de Barcelona, Barcelona, ESP)
,
SANTANDER J
(Univ. Autonoma de Barcelona, Barcelona, ESP)
,
GRACIA I
(Univ. Autonoma de Barcelona, Barcelona, ESP)
,
LORA-TAMAYO E
(Univ. Autonoma de Barcelona, Barcelona, ESP)
資料名:
Proceedings. IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures
(Proceedings. IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures)
巻:
1993
ページ:
219-222
発行年:
1993年
JST資料番号:
T0991A
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)