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文献
J-GLOBAL ID：200902161989414505
整理番号：01A0596264
チタンイソプロポキシドと塩化ジルコニウムからチタン酸ジルコニウムの原子層蒸着
Atomic Layer Deposition of Zirconium Titanium Oxide from Titanium Isopropoxide and Zirconium Chloride.
RAHTU A
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
,
RITALA M
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
,
LESKELAE M
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
資料名：
Chemistry of Materials
(Chemistry of Materials)
巻： 13 号： 5 ページ： 1528-1532 発行年： 2001年05月
JST資料番号： T0893A ISSN： 0897-4756 CODEN： CMATEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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