文献
J-GLOBAL ID:200902162048028138
整理番号:99A0700832
ジルコニウムテトラ-t-ブトキシドを用いた化学蒸着によるZrO2膜の成長
ZrO2 film growth by chemical vapor deposition using zirconium tetra-tert-butoxide.
著者 (2件):
CAMERON M A
(Univ. Colorado, CO, USA)
,
GEORGE S M
(Univ. Colorado, CO, USA)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
348
号:
1/2
ページ:
90-98
発行年:
1999年07月06日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)