文献
J-GLOBAL ID:200902162142888175
整理番号:93A0653736
メタンまたはシリルメタンで作った非晶質水素化炭化けい素層の構造の差異
Differences in the structure of amorphous hydrogenated silicon-carbide layers prepared with either methane or silylmethanes.
著者 (3件):
FOELSCH J
(Phototronics Solartechnik GmbH(PST), Putzbrunn, DEU)
,
RUEBEL H
(Phototronics Solartechnik GmbH(PST), Putzbrunn, DEU)
,
SCHADE H
(Phototronics Solartechnik GmbH(PST), Putzbrunn, DEU)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
73
号:
12
ページ:
8485-8488
発行年:
1993年06月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)