文献
J-GLOBAL ID:200902162381974563
整理番号:94A0620893
スパッタ原子の初期位置の深さ
Depth of origin of sputtered atoms.
著者 (2件):
PELLIN M J
(Argonne National Lab., Illinois, USA)
,
BURNETT J W
(Argonne National Lab., Illinois, USA)
資料名:
Pure and Applied Chemistry
(Pure and Applied Chemistry)
巻:
65
号:
11
ページ:
2361-2372
発行年:
1993年11月
JST資料番号:
H0385A
ISSN:
0033-4545
CODEN:
PACHAS
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)