文献
J-GLOBAL ID:200902162391254399
整理番号:93A0897926
Real-time monitoring and control during MOVPE growth of CdTe using multiwavelength ellipsometry.
著者 (5件):
JOHS B
(J.A. Woollam Co., NE, USA)
,
DOERR D
(J.A. Woollam Co., NE, USA)
,
PITTAL S
(J.A. Woollam Co., NE, USA)
,
BHAT I B
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA)
,
DAKSHINAMURTHY S
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
233
号:
1/2
ページ:
293-296
発行年:
1993年10月12日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)