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文献
J-GLOBAL ID：200902162441697807
整理番号：00A0586513
マルチ・ワイヤソー切断用水溶性クーラントの開発 φ400mmシリコンインゴットの切断に関する研究 1
Development of Water-Soluble Coolant for Multiwire Saw Slicing. Study on 400mm-Diameter Silicon Ingot Slicing. (1st Report).
大石弘
(スーパーシリコン研)
,
浅川慶一郎
(スーパーシリコン研)
,
松崎順一
(スーパーシリコン研)
,
芦田昭雄
(大智化学産業)
,
宇野義幸
(岡山大 工)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 66 号： 6 ページ： 912-916 発行年： 2000年06月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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