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文献
J-GLOBAL ID：200902162607688178
整理番号：95A0854424
Influence of acid generator structure on T-top formation in high temperature bake processes for environmental stabilization.
ITO H
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
BREYTA G
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
HOFER D
(IBM Almaden Res. Center, CA)
,
FISCHER T
(IBM Sindelfingen, DEU)
,
PRIME B
(IBM Storage Systems Div., CA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 2438 ページ： 53-60 発行年： 1995年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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