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文献
J-GLOBAL ID：200902162641833535
整理番号：98A0964606
二次イオン質量分析による有機薄膜の分析のためのSF5+多原子一次イオンビームの予備評価
Preliminary Evaluation of an SF5+ Polyatomic Primary Ion Beam for Analysis of Organic Thin Films by Secondary Ion Mass Spectrometry.
GILLEN G
(National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
,
ROBERSON S
(National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
資料名：
Rapid Communications in Mass Spectrometry
(Rapid Communications in Mass Spectrometry)
巻： 12 号： 19 ページ： 1303-1312 発行年： 1998年
JST資料番号： T0695A ISSN： 0951-4198 CODEN： RCMSEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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