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文献
J-GLOBAL ID：200902162673678159
整理番号：97A0245110
Pb(Zr,Ti)O3膜用のPt/Tiボトム電極
Investigation of Pt/Ti Bottom Electrodes for Pb(Zr,Ti)O3 Films.
KIM S-T
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
KIM H-H
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
LEE M-Y
(Samsung Electronics Co., Ltd., Kyungki-do, KOR)
,
LEE W-J
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 36 号： 1A ページ： 294-300 発行年： 1997年01月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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