文献
J-GLOBAL ID:200902162839694360
整理番号:94A0139446
Alignment signal failure detection and recovery in real time.
著者 (3件):
PROGLER C J
(IBM Semiconductor Research and Development Center, New York)
,
CHEN A C
(IBM Semiconductor Research and Development Center, New York)
,
HUGHLETT E
(Karl Suss America, Corp., Vermont)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
11
号:
6
ページ:
2164-2174
発行年:
1993年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)