文献
J-GLOBAL ID:200902162853032494
整理番号:03A0069814
集束イオンビーム誘起化学蒸着により成長させたFeドープ非晶質炭素ピラーの黒鉛化
Graphitization of Fe-doped amorphous carbon pillars grown by focused-ion-beam-induced chemical-vapor deposition.
著者 (6件):
FUJITA J
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
ISHIDA M
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
ICHIHASHI T
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
OCHIAI Y
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
KAITO T
(Seiko Instruments Inc., Shizuoka, JPN)
,
MATSUI S
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
20
号:
6
ページ:
2686-2689
発行年:
2002年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)