文献
J-GLOBAL ID:200902163023851952
整理番号:01A0052274
前処理化学種のpHを制御してウエハ上に形成したNi/n-GaAsのSchottky障壁高さの二つのレベル 酸素吸着の効果
Two Levels of Ni/n-GaAs Schottky Barrier Heights Formed on a Wafer by Controlling pH of Pretreatment Chemicals. Effect of Oxygen Adsorption.
著者 (6件):
TSUZUKU T
(Kanazawa Univ., Ishikawa, JPN)
,
SUGIMURA T
(Kanazawa Univ., Ishikawa, JPN)
,
KASAI Y
(Kanazawa Univ., Ishikawa, JPN)
,
INOKUMA T
(Kanazawa Univ., Ishikawa, JPN)
,
IIYAMA K
(Kanazawa Univ., Ishikawa, JPN)
,
TAKAMIYA S
(Kanazawa Univ., Ishikawa, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
39
号:
10
ページ:
5788-5793
発行年:
2000年10月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)