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文献
J-GLOBAL ID：200902163036131347
整理番号：03A0069627
Tropel Cylindermaster CM25の光学システムに基づくすれすれ入射干渉法の測定結果に及ぼす軸円柱形状誤差の影響のモデリング
Modelling the Influences of Axial Cylindrical Form Errors on the Measurement Result of the Gracing Incidence Interferometry Based on the Optical System of the Tropel Cylindermaster CM25.
ERNST R
,
WIEDENHOEFER T
資料名：
VDI-Berichte (Verein Deutscher Ingenieure)
(VDI-Berichte (Verein Deutscher Ingenieure))
号： 1694 ページ： 167-171 発行年： 2002年
JST資料番号： H0299A ISSN： 0083-5560 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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