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文献
J-GLOBAL ID：200902163285129239
整理番号：97A0698073
フォトレジストのオゾン灰化の温度効果と濃度効果
Temperature and concentration effects on ozone ashing of photoresist.
GARDNER W L
(Oak Ridge National Lab., Tennessee)
,
BADDORF A P
(Oak Ridge National Lab., Tennessee)
,
HOLBER W M
(Applied Sci. and Technol., Inc., Massachusetts)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 15 号： 3 Pt 2 ページ： 1409-1412 発行年： 1997年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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