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J-GLOBAL ID：200902163291634719 整理番号：01A0448830

フェム秒、ナノ秒およびマイクロ秒のパルスレーザによるAlNセラミックの選択性アブレーション

Selective ablation of AlN ceramic using femtosecond, nanosecond, and microsecond pulsed laser.

著者 (3件)：

HIRAYAMA Y

(Keio Univ., Yokohama, JPN)

YABE H

(Keio Univ., Yokohama, JPN)

OBARA M

(Keio Univ., Yokohama, JPN)

資料名：

Journal of Applied Physics (Journal of Applied Physics)

巻： 89 号： 5 ページ： 2943-2949 発行年： 2001年03月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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