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文献
J-GLOBAL ID：200902163350902404
整理番号：02A0555279
線状急速熱焼鈍法による酸化タンタル圧電薄膜の製造と圧電気の測定
Ultrasonic Electronics. Fabrication of Ta2O5 Piezoelectric Thin Film by the Linear Rapid Thermal Annealing Method and Measurement of Piezoelectricity.
NAKAGAWA Y
(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
,
IGARASHI T
(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41 号： 5B ページ： 3285-3289 発行年： 2002年05月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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