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文献
J-GLOBAL ID：200902163370440903
整理番号：02A0109050
金属マスクの熱的変形に対する対応策としてのスリット構造
Slit Structure as a Countermeasure for the Thermal Deformation of a Metal Mask.
YAMAZAKI T
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
YOSHIZAWA T
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
YAMABUCHI T
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
HIROBAYASHI S
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
KIKUTA T
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
NAKATANI N
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
MIZUGUCHI T
(Murata Mfg. Co., Ltd., Kyoto, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 40 号： 12 ページ： 7170-7173 発行年： 2001年12月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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