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文献
J-GLOBAL ID:200902163370440903   整理番号:02A0109050

金属マスクの熱的変形に対する対応策としてのスリット構造

Slit Structure as a Countermeasure for the Thermal Deformation of a Metal Mask.
著者 (7件):
YAMAZAKI T
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
YOSHIZAWA T
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
YAMABUCHI T
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
HIROBAYASHI S
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
KIKUTA T
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
NAKATANI N
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
MIZUGUCHI T
(Murata Mfg. Co., Ltd., Kyoto, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

巻: 40  号: 12  ページ: 7170-7173  発行年: 2001年12月15日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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