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文献
J-GLOBAL ID：200902163400902184
整理番号：00A0494957
多層ソフトリソグラフィーによってモノリシックに微細加工したバルブとポンプ
Monolithic Microfabricated Valves and Pumps by Multilayer Soft Lithography.
UNGER M A
(California Inst. Technol., CA, USA)
,
CHOU H-P
(California Inst. Technol., CA, USA)
,
THORSEN T
(California Inst. Technol., CA, USA)
,
SCHERER A
(California Inst. Technol., CA, USA)
,
QUAKE S R
(California Inst. Technol., CA, USA)
資料名：
Science
(Science)
巻： 288 号： 5463 ページ： 113-116 発行年： 2000年04月07日
JST資料番号： E0078A ISSN： 0036-8075 CODEN： SCIEA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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