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J-GLOBAL ID：200902163433468668 整理番号：98A0450975

静電サーボ容量型真空センサの構造

The structures for electrostatic servo capacitive vacuum sensors.

著者 (2件)：

WANG Y

(Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN)

ESASHI M

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

資料名：

Sensors and Actuators. A. Physical (Sensors and Actuators. A. Physical)

巻： A66 号： 1/3 ページ： 213-217 発行年： 1998年04月01日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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