文献
J-GLOBAL ID:200902163947908063
整理番号:97A0173200
TCADキャリブレーションの問題と統計手法の利用技術
The Problems for TCAD Calibration and the Application of Statistical Method.
著者 (4件):
佐藤久子
(日立 デバイス開セ)
,
常野克己
(日立 デバイス開セ)
,
青山仁子
(日立 デバイス開セ)
,
増田弘生
(日立 デバイス開セ)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
96
号:
359(SDM96 119-131)
ページ:
35-41
発行年:
1996年11月14日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)