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文献
J-GLOBAL ID：200902164045944993
整理番号：99A0104300
オゾン灰化に対するガス添加の影響
Effect of Gas Addition on Ozone Ashing.
OMIYA K
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
KATAOKA Y
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 145 号： 12 ページ： 4323-4327 発行年： 1998年12月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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