文献
J-GLOBAL ID:200902164427834748
整理番号:02A0173374
投影イメージング電子顕微鏡に基づく電子ビーム検査システム
Electron beam inspection system based on the projection imaging electron microscope.
著者 (5件):
MIYOSHI M
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
YAMAZAKI Y
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
NAGAHAMA I
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
ONISHI A
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
OKUMURA K
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
19
号:
6
ページ:
2852-2855
発行年:
2001年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)