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文献
J-GLOBAL ID：200902164458696211
整理番号：99A0483748
ベクトル走査制御動的溝切りによる原子間力顕微鏡を用いたナノリソグラフィー
Nanolithography with an atomic force microscope by means of vector-scan controlled dynamic plowing.
KLEHN B
(Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
,
KUNZE U
(Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 85 号： 7 ページ： 3897-3903 発行年： 1999年04月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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