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文献
J-GLOBAL ID：200902164565975590
整理番号：93A0458877
限界寸法のサブピクセル評価用機械視覚技術
Machine vision techniques for subpixel estimation of critical dimensions.
AGHAJAN H K
(Stanford Univ., California)
,
SCHAPER C D
(Stanford Univ., California)
,
KAILATH T
(Stanford Univ., California)
資料名：
Optical Engineering
(Optical Engineering)
巻： 32 号： 4 ページ： 828-839 発行年： 1993年04月
JST資料番号： B0577B ISSN： 0091-3286 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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