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文献
J-GLOBAL ID：200902164799234224
整理番号：00A0899549
薄膜の熱膨張係数について
On the thermal expansion coefficients of thin films.
FANG W
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
,
LO C-Y
(National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A84 号： 3 ページ： 310-314 発行年： 2000年09月01日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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