文献
J-GLOBAL ID:200902165441451360
整理番号:97A0328777
ナノ複合物レジスト系
Nanocomposite resist system.
著者 (3件):
ISHII T
(NTT Opto-electronics Lab., Kanagawa, JPN)
,
NOZAWA H
(NTT Opto-electronics Lab., Kanagawa, JPN)
,
TAMAMURA T
(NTT Opto-electronics Lab., Kanagawa, JPN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
70
号:
9
ページ:
1110-1112
発行年:
1997年03月03日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)